安裝條件

本設筐要求在海拔1000m以下，溫度251=15。。，濕度55%Rh=10%Rh下使用。

1、 水：不需要

2、 電：AC220\'50Hz,必須有良好接地

3、 氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標準帝有寶塔接頭，可自斐改制成為雙卡套接頭）

4、 工作臺：R\T600mmx600mmx700mm,承重 100kg以上

5、 通風裝豈：需要

主要特點

1、 雙層殼體，甑有循環(huán)風冷系統(tǒng)，殼體表面溫度<55^0

2、 開啟式爐體更方便于爐管的更換。

3、 內(nèi)爐膛表面涂有進口氧化鋁涂層，可以提高反射率和潔浄度，同時延長使用壽命。

4、 PID控制器,可以設置30段升降溫程序。

5、 已通過CE認證。

技術(shù)參教

1、 電源：AC 220V 50Hz 6KU‘

2、 石英管：外徑080mm，內(nèi)徑072mm，長1000mm

3、 加熱元件：摻鑰鐵銘鋁合金電阻絲，表面涂有氧化錯

4、 加熱區(qū)域：440mm

5、 工作溫度：高1200‘C ?lh），連續(xù)工作1100°C

6、 大升降溫速率:20°C min

7、 控溫精度：±rc

8、 真空度：loAjrr （機械泵），10'⁵torr （分子泵）

9、 漏氣率:<5mtorr min

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：550mmX 380mm X520mm；重里：80kg

可迭圖件

1、 鉉說式法蘭

2、 訪腐型數(shù)字式真空顯示計

3、 KF25轉(zhuǎn)接頭

4、 VCR雙卡套接頭

5、 滑軌法蘭

6、 移動爐架